氪-85检漏技术是半导体封装质量控制关键手段，最低检测限达1×10-12 Pa·m3/s，通过质谱分析实现，需辐射安全管理，比氦检漏灵敏度高，核心地位难替代。...
铁-55作为放射性示踪同位素，在硅晶圆表面污染检测中灵敏度达亚飞克级，具原位无损优势，受真空度等因素影响，是半导体先进制程关键质量控制手段。...
